6月22日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所碳基薄膜与涂层技术团队承担的中国科学院仪器装备研制项目“管状内表面磁场诱导高离化溅射复合PECVD的碳基强化涂层沉积系统”顺利通过技术专家组的现场验收，中科院沈阳科学仪器股份有限公司的雷震霖研究员担任验收专家组组长。

　　验收会议上，项目负责人汪爱英研究员首先汇报了项目概况、项目研制过程、关键技术指标完成情况，并分析了利用研制装备拟开展的未来工作设想。专家组就研制装备的核心特色、主要功能、涂层应用等做了提问和质询，并认真审议和通过了技术测试大纲。随后，专家组在设备现场，按照技术测试大纲和项目任务书的条目要求，逐项进行了指标评测，查阅了用户使用报告和第三方检测公司出具的检测报告。结合现场测试结果，专家组一致认为项目团队研制的“管状内表面磁场诱导高离化溅射复合PECVD的碳基强化涂层沉积系统”的所有技术指标均达到甚至部分优于实施方案规定的任务指标要求。

　　通过项目实施，团队研制出一套具有自主知识产权的新型管状内壁涂层镀膜装备；提出了同轴外磁场诱导和辅助阳极调控的管内高离化磁控溅射复合PECVD的设计新思路，实现了兼具高离化刻蚀清洗、金属/化合物复合涂层制备、氮基/碳基表面防护涂层制备于一体的多样功能；突破了传统内壁涂层制备存在的等离子体放电难、轴向均匀差、膜基结合弱、强韧耐蚀防护不足的共性技术挑战，实现了小口径（5mm～50mm）、大长径比（3-20）、多种金属（钢材类、钛/铝合金类）管状内壁的系列氮基/碳基防护涂层高质量制备。以不锈钢表面碳基涂层为例，性能达到厚度～14μm、硬度27GPa、室温干摩擦系数＜0.15、腐蚀电流密度比基体高4个数量级、耐中性盐雾1000小时。发展的相关涂层材料与装备技术，为解决航空发动机缸筒、内花键及海水液压泵等传动部件的表面强化与改性防护提供了保障，将助力涉海重大领域装备的可靠运行和长寿命安全服役。

专家组技术验收现场

　　（中科院海洋新材料与应用技术重点实验室 陈仁德）