6月3日，宁波材料所公共技术服务中心邀请卡尔蔡司（中国）公司应用工程师举办了一场聚焦离子束（FIB）应用讲座，并举行了不同样品的检测实战演示，促进了所内科研人员对FIB的了解及应用。 

　　宁波材料所新购置的ZEISS聚焦离子束（FIB）已经安装完毕即将投入使用。聚焦离子束（FIB）在扫描电镜（SEM）的基础上，配备了离子束镜筒，可在纳米尺度利用离子轰击样品表面，实现材料的剥离、沉积、注入等加工工艺。FIB的使用，为TEM块体制样提供了新的方法，特别是Si等轻质导电性材料，让我们可以选择感兴区，制备相对较大的薄区，同时制备时间相对会缩短。薄膜断面的制备也会更加方便，但由于加工尺度限制，无法制备大范围的断面。利用三维重构软件包，可构建样品3D结构，更加直观的观察内部结构差异。 

　　由于FIB在所内的需求较多，讲座吸引了近百人参加。讲座结束后，应用工程师还到测试中心FIB实验室进行了现场样品演示，帮助大家对设备的使用有了一个更加直观的印象。 

　　聚焦离子束设备的投入使用，必将对样品的测试表征提供新的途径，极大提高科研效率。而且此次购置的FIB的电子束分辨率1.0nm@15kv，离子束分辨率优于2.5nm@30kv，配备GIS气体注入系统（Pt、Water、XeF2、I、C）、EDS能谱仪、OMNI PROBE纳米机械手、inlens探头，ESB探头，NTS BSD探头、STEM探头，配置较全，能很好的满足所内外的需求，必将对所内科研工作起到较好的支撑作用。 

                                                     （公共技术服务中心）