5月23日，应宁波材料所陈思鲁研究员的邀请，新加坡国立大学电气工程系Nazir Kamaldin博士到宁波材料所进行了学术交流。他给大家做了题为《Robust control for dual-drive gantry and other typical actuators for semiconductor manufacturing processes》的学术报告。 

　　他在报告中重点给大家介绍了传统驱动方式下的新型机电一体化和控制方法。他首先介绍了由两组直线电机构成的XY解耦合气浮双驱龙门运动平台，并提出了这种机构的具体特点和控制问题，如缺乏准确的模型参数，与位置相关的干扰力矩等。结合这些问题，他介绍了对被控对象的拉格朗日建模，并提出了新型自调节加加速度的滑膜控制方案。其次他还讲解了直线运动与平面运动结合的控制实验设计方法，并展示了控制实验数据，即直线运动的跟踪误差和跟踪效果以及平面运动的跟踪误差，并通过激光干涉仪进行了验证。 

　　运动控制是大多数工业加工普遍存在的问题，不够精确的运动控制将使系统不受约束或不稳定。在光刻领域，例如表面贴装元件的放置和检查，及其他高科技、高价值的制造领域中，运动平台的直线运动、旋转运动和其他平面运动组合是必不可少的。因此，为了满足高科技、高价值制造业日益增长的需求，控制方法和机电一体化设计的发展和研究势在必行。 

　　报告结束后，许多同事、同学就其报告的内容进行了提问，对其XY平台不同位置、不同干扰的不同频率响应特性，以及前馈控制效果对反馈控制的影响进行了探讨。  

　　【报告人简介】Nazir Kamaldin现于新加坡国立大学攻读电气工程博士学位，他于2013年获得新加坡国立大学电气工程荣誉学士学位，曾获得新加坡国立大学科学工程一体化研究生院博士生奖学金。在鲁邦-自适应控制，生物医疗传感、驱动和控制领域发表了多篇文章。 

　　      （先进制造所 李振）