纳米制造技术是实现纳米结构、器件、系统生产的基础，以微纳器件制造需求或关键技术为牵引，解决微纳米制造的设计、装备、工艺以及应用等关键技术问题，是提升纳米制造技术的关键。 

　　为了便于实现材料和器件在微纳尺寸下的合成或组装，实现其高度集成化和多功能化，宁波材料所许高杰研究团队利用自行研制的三维微纳结构制造系统，成功制备出不受模板限制的三维方向具有一定取向性的曲线型结构，并实现了不同节点间的互联互通，该技术对于提升大规模集成电路向三维立体方向发展（集成度）有重要意义。 

    下图是研究过程中制备的一些微纳线阵列，微纳线直径可达到500nm以下，微纳线间距可小于500nm。目前研究团队采用的是单针‘直写’方式，通过程序控制，制备出预先设计好的各种直线、折线或曲线阵列，也可以采用类似3D打印技术的方式，制备出简单的3D微纳器件。目前三维微纳结构制备系统和制备技术正在进一步优化和完善当中。研究人员希望配合团队其他成员开展的3D打印材料和技术的研究，完成从小尺度的微纳结构器件到大尺寸3D产品开发的系统性工作。目前，研究人员正在通过这种微纳结构制造系统，开发微纳尺度3D打印喷头（喷嘴）的研制工作。该项研究工作的完成，将能够使3D打印技术的精度进一步提高。同时，研究团队正积极加强与国内外同行的交流合作，希望通过协同努力，加快微纳器件研究和应用推广的进程。 

　　微观尺寸下微纳线的折线阵列结构和微纳线之间的相互接触的结构的SEM图