专利名称：氧化物薄膜晶体管及其制造方法
专利(申请)号：ZL201710302093.7
申请日期：2017-05-02 00:00:00
授权日期：2021-09-17 00:00:00
第一发明人：竺立强
其他发明人：竺立强; 刘锐; 肖惠; 付杨明
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所