专利名称：一种用于阴极电弧沉积的复合靶及沉积方法
专利(申请)号：ZL201811082024.0
申请日期：2018-09-17 00:00:00
授权日期：2020-10-02 00:00:00
第一发明人：陈仁德
其他发明人：陈仁德; 左潇; 汪爱英; 张栋; 柯培玲
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所