专利名称：一种真空镀膜装置
专利(申请)号：ZL201920073200.8
申请日期：2019-01-16 00:00:00
授权日期：2019-09-20 00:00:00
第一发明人：郭武明
其他发明人：郭武明; 王海新; 蒲吉斌; 王立平; 张学东; 郑文茹; 吴斌
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所