专利名称：制备隧穿氧钝化接触结构的快速退火方法
专利(申请)号：ZL201910311808.4
申请日期：2019-04-18 00:00:00
授权日期：2021-08-24 00:00:00
第一发明人：廖明墩
其他发明人：廖明墩; 叶继春; 曾俞衡; 闫宝杰; 杨清; 张志; 郭雪琪; 黄玉清; 王志学
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所