专利名称：一种光束入射角可控的激光加工装置
专利(申请)号：ZL202021549573.7
申请日期：2020-07-30 00:00:00
授权日期：2021-06-01 00:00:00
第一发明人：张文武
其他发明人：张文武; 张天润; 章鹏
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所; 宁波大艾激光科技有限公司