专利名称：一种振板式超声波装置及振板式超声波清洗装置
专利(申请)号：ZL202020496991.8
申请日期：2020-04-07
授权日期：2021-02-19 00:00:00
发明人：黄显雯; 马洪波; 张永刚; 徐敏军
其他发明人：
专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所